1) dry etching
干法刻蚀
1.
Effect of dry etching on light emission of InAsP/InP SMQWs;
干法刻蚀影响应变量子阱发光的机理研究
2.
Research of dry etching simulator in micromachining;
微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状
3.
Research of CCl_2F_2 plasma dry etching InSb-In thin film;
CCl_2F_2等离子体干法刻蚀InSb-In薄膜的研究
3) dry-etching
干法刻蚀
1.
The testing technologies of SiC MESFET on manufacturing process were presented,including identification chip surface,dry-etching monitoring,aided testing of isoplanar,the test of the specific contact resistance of ohmic contact and other various testing technologies.
介绍了SiC MESFET芯片加工工艺中的主要在片检测技术,包括芯片表面情况判定、干法刻蚀的监测、等平面工艺的辅助测试、欧姆接触比接触电阻值的测试以及各种中间测试技术。
4) ICP dry etching
ICP干法刻蚀
5) selective dry etching
选择性干法刻蚀
补充资料：瓷刻
瓷刻 陶瓷装饰一种。在上釉烧成的素色瓷器上用钨钢刀或金钢石刀镂刻书画。始于清康熙时。先用刀尖刻出点线，再涂墨上蜡，即在瓷面上出现山水、花鸟和人物等画而或各种书体的字迹，既保持了传统的书、画风格，又发挥了晶莹光洁的瓷面特色，收到相得益彰的效果，且经久不泯。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条