1)  aluminum oxynitride
氧氮化铝
2)  aluminum and magnesium oxynitride
氧氮化铝镁
3)  γ-aluminum oxynitride spinel
尖晶石型氧氮化铝
1.
Oxidation of γ- aluminum oxynitride spinel was evaluated by means of thermodynamic analysis,results indicate that it wasoxidized at high temperature and in oxidizing atmosphere.
对尖晶石型氧氮化铝(γ-AlON)的氧化进行热力学分析,结果表明其在高温下,氧化气氛中容易氧化,并且综述了氧氮化铝、镁铝氧氮及其复合材料的氧化行为和氧化保护对策。
4)  aluminum oxynitride nanopowder
氧氮化铝纳米粉体
5)  oxygen and nitrogen
氧氮
6)  Silicon oxynitride
氧氮化硅
参考词条
补充资料:氮化铝膜
分子式:
CAS号:

性质:用气相沉积、液相沉积、表面转化或其他表面技术制备的氮化铝覆盖层。氮化铝的电阻率高(1012Ω·cm),热膨胀系数低,硬度高,化学稳定性好,而且热导率也很高(3.2W·cm-1·K-1)。氮化铝在整个可见光和红外频段都具有很高的光学透射率。这些性能都使氮化铝膜在微电子和光电子器件、衬底材料、绝缘层材料、封装材料上有着广阔的应用前景。它可用作声表面波器件,此外,氮化铝还具有良好的耐磨损和耐腐蚀性能,可用作防护膜。

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