补充资料：电容电压法

电容电压法
capacitance-voltage method

　　电容电压法capaeitance一vozta罗method用于测量体材料、外延材料、异质结结构以及超晶格等材料的载流子浓度及其分布的方法。载流子浓度可测范围为5x10‘4一5火10‘7cm一3。测试样品需制备成PN结、肖特基势垒或MOS、MIS结构等，因此也可用来研究界面特性。 将置于恒定反偏的PN结上叠加一小讯号的高频电压时，由于频率很高，它仅能使耗尽区界面处、弛豫时间为10一‘2秒的自由载流子来得及移动，以致引起耗尽区界面处空间电荷的变化，这与一个间距为W的平行板电容器的效果等同，于是高频小讯号半导体结电容C为。A￡七一一于书， 昨式中W为耗尽区宽度，￡为介电常数，A为结的面积。 根据微分电容的定义:尸二卫垒~dV 界面处的感生电荷由界面移动来完成，如PN结两侧的浓度分别为戈(x)和凡(x)，在单边突变结的情况下，耗尽层电荷的变化dQ为 dQ二qANb(x)d。由上3式可得N0(二，一葡箫一当PN结为双边结时，则 1 .1_口乙八2，dC、一玉不-了一，「州尸于于万r一、一一一下子r一几一不万厂井)IV台气X)IV滩、尤)L一’QV’上两式就是利用电容一电压法测量载流子浓度分布的基本公式。 测量在小讯号(　　

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