补充资料：步距误差

分子式：
CAS号：

性质： 光学掩模版列或行上相邻功能图形中，某图像的点与相应图像对应点之间的距离叫步距。实测步距与规定步距之差即步距误差。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。