1) heterodyne interferometer
外差干涉
1.
Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy;
高精度表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统的研制
2.
Based on the optical heterodyne interferometer and transmission ellipsometry, a new fast measurement technique of nanometer film was presented computational.
结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法。
3.
At last,a novel method based on laser heterodyne interferometer for measuring multi-degree-of-freedom is proposed,and this method is capable of realizing long-range and high-accuracy.
提出了一种新颖的基于激光外差干涉的多自由度测量方法,该方法有很高的精度和测量范围。
2) heterodyne interferometry
外差干涉
1.
Automatic real-time compensation of vacant band error based on monitor the laser heterodyne interferometry timely;
基于实时监测的激光外差干涉仪闲区误差自动补偿
2.
High acceleration ultra-precision measurement model in laser heterodyne interferometry;
高加速度超精密激光外差干涉测量模型
3.
In order to achieve high measuring resolution in wide measuring range with laser heterodyne interferometry measurement in nanometer level,a novel integer-fraction combined signals processing method is presented.
为解决在纳米级分辨力激光外差干涉测量中,由于倍频计数限制引起的在大量程条件下测量分辨力难以提高的难题,提出一种新颖的基于锁相环倍频和相位解调技术相结合的整数、小数结合计数式检测方法。
3) heterodyne interference
外差干涉
1.
With the improvement of measurement velocity in laser heterodyne interference,the theoretical error of laser heterodyne interference seriously restricted the accuracy of measurement.
随着激光外差干涉测量速度的提高,其存在的原理性误差严重影响测量精度。
4) Heterodyne interferometer
外差干涉仪
1.
Dynamic data collection method of heterodyne interferometer based on FPGA;
一种基于FPGA的外差干涉仪动态数据采集方法
2.
Experimental design for detecting ultrasonic vibration on the surface of metal with heterodyne interferometer;
用激光外差干涉仪探测金属表面超声振动的实验设计
5) pesudo heterdyne interference
伪外差干涉
6) light heterodyne
光外差干涉
1.
The light heterodyne technique is used.
移相干涉术是一种高精度、高灵敏度的光学测试方法，极易受外界振动的影响，为解决光干涉测试中的振动问题，本文在比较了国内外干涉抗振技术后，提出了采用光外差干涉测量振动，以PZT为振动补偿元件的主动抗振方案；详细讨论了抗振方案的原理、电路系统的设计制作、DSP的程序编制；最后进行了抗振实验。
补充资料：外差干涉仪
又称双频干涉仪或交流干涉仪。是使用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束。通过光电探测器的混频，输出差频信号（受光电探测器频响的限制，频差一般在 100兆赫以内）。被测物体的变化如位移、振动、转动、大气扰动等引起的光波相位变化或多普勒频移载于此差频上，经解调即可获得被测数据的仪器。
外差干涉仪的突出优点是：①由于物体变化所产生的多普勒频移信息是载于稳定的差频上，且其频率较高（几兆至100兆赫）,因此，光电探测时避过了激光器的低频噪声和半导体器件的1/f噪声区;又利用频率跟踪等外差解调技术大量滤除了宽带噪声，因此提高了光电信号的信噪比。例如零差干涉测长仪中，当测量光束受外界干扰光强衰减50％时，就不易正常工作，而外差干涉测长仪则可在光强衰减90％时仍能正常工作，因此能用于生产现场，并能测量较长距离（大于60米）。②可以直接从输出频率相对于差频的增减判别运动的方向，因此可以测量物体的连续变化过程如随机振动波形，气流扰动随时间变化过程，而零差干涉仪较难实现。
外差干涉仪现已广泛应用于测速、测长、测角、测振、测表面光洁度、测激光束通过湍流时光束的扰动、提高望远镜的视轴瞄准精度以及作自适应光学中的鉴相器等领域，获得了比零差干涉仪更高的精度。
外差干涉仪中两种不同频率的光束可由两只稳频的激光器提供，也可以利用磁光、电光、声光效应或旋转光栅盘的衍射效应提供。
外差干涉仪的突出优点是：①由于物体变化所产生的多普勒频移信息是载于稳定的差频上，且其频率较高（几兆至100兆赫）,因此，光电探测时避过了激光器的低频噪声和半导体器件的1/f噪声区;又利用频率跟踪等外差解调技术大量滤除了宽带噪声，因此提高了光电信号的信噪比。例如零差干涉测长仪中，当测量光束受外界干扰光强衰减50％时，就不易正常工作，而外差干涉测长仪则可在光强衰减90％时仍能正常工作，因此能用于生产现场，并能测量较长距离（大于60米）。②可以直接从输出频率相对于差频的增减判别运动的方向，因此可以测量物体的连续变化过程如随机振动波形，气流扰动随时间变化过程，而零差干涉仪较难实现。
外差干涉仪现已广泛应用于测速、测长、测角、测振、测表面光洁度、测激光束通过湍流时光束的扰动、提高望远镜的视轴瞄准精度以及作自适应光学中的鉴相器等领域，获得了比零差干涉仪更高的精度。
外差干涉仪中两种不同频率的光束可由两只稳频的激光器提供，也可以利用磁光、电光、声光效应或旋转光栅盘的衍射效应提供。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条