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1)  MEMS
微型机电系统
1.
Microtechnology/Nanotechnology and MEMS;
微米纳米技术及微型机电系统
2.
The Microgripper, which is typical microactuator, is one of important research contents in MEMS.
微机械手是一种典型的微型执行器,是微型机电系统(MEMS)的重要研究内容之一。
2)  MOEMS
微型光机电系统
1.
A Testing Method for a MOEMS Optical Switch Using CCD;
采用CCD技术的微型光机电系统光开关测试方法
3)  MEMS (Micro Electro Mechanical System )
微型机电系统(MEMS)
4)  micro electro-mechanical system
微型机械电子系统
1.
The micro electro-mechanical system(MEMS) and integrated circuit technology were adopted to manufacture the solid piezoresistive silicon flat chip with high precision and sensitivity,and packaged on the concentrated stress location of an elastic beam by glass powder sintering,and the special piezoresistive acceleration sensor was developed with th.
采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器。
5)  Micro electrical mechanical power system
微型机电动力系统
6)  Power micro electromechanical systems(Power MEMS)
微型动力机电系统
补充资料:机电伺服系统
      以电动机作为动力驱动元件的伺服系统。电动机是将电能转换为机械能的元件,功率范围宽,使用方便,容易控制,是应用最广的驱动元件(见电动执行元件)。机电伺服系统广泛应用于仪表、飞行控制、火力控制等各种领域。机电伺服系统按所用电机的类型又可分为直流伺服系统和交流伺服系统。伺服系统的性能和结构与电机类型和控制方式有很大关系。
  
  直流伺服系统  直流伺服系统适用的功率范围很宽,包括从几十瓦到几十千瓦的控制对象。通常,从提高系统效率的角度考虑,直流伺服系统多应用于功率在100瓦以上的控制对象。直流电动机的输出力矩同加于电枢的电流和由激磁电流产生的磁通有关。磁通固定时,电枢电流越大,则电动机力矩越大。电枢电流固定时,增大磁通量能使力矩增加。因此,通过改变激磁电流或电枢电流,可对直流电动机的力矩进行控制。对电枢电流进行控制时称电枢控制,这时控制电压加在电枢上。若对激磁电流进行控制,则将控制电压加在激磁绕组上,称为激磁控制。
  
  电枢控制时,反映直流电动机的力矩T与转速N之间关系的机械特性基本上呈线性特性(见图)。图中Vc1,Vc1是加在电枢上的控制电压,负斜率D为阻尼系数。电枢电感一般较小,因此电枢控制可以获得很好的响应特性。缺点是负载功率要由电枢的控制电源提供,因而需要较大的控制功率,增加了功率放大部件的复杂性。例如,对要求控制功率较大的系统,必须采用发电机-电动机组、电机放大机和可控硅等大功率放大部件。
  
  激磁控制时要求电枢上加恒流电源,使电动机的力矩只受激磁电流控制。恒流特性可通过在电枢回路中接入一个大电阻(10倍于电枢电阻)来得到。对于大功率控制对象,串联电阻的功耗会变得很大,很不经济。因此激磁控制只限于在低功率场合使用。电枢电源采用恒流源后,机械特性上的斜率等于零,引起电机的机电时间常数增加,加之激磁绕阻中的电感量较大,这些都使激磁控制的动态特性较差,响应较慢。
  
  交流伺服系统  在交流伺服系统中,一般采用两相交流电动机作为执行部件。它的一个绕组是作为固定激磁用的,另一个绕组为控制绕组,两个绕组上电压的相位相差90°。两相交流电机工作可靠,交流放大器结构简单且没有零点漂移,加上测量元件又都采用交流电(例如旋转变压器),所以交流伺服系统简单可靠。但是交流电动机的效率较低,因此交流伺服系统一般仅用于100瓦以下的小功率场合。交流伺服系统的设计比直流伺服系统复杂得多,用于改善系统性能的校正装置(见控制系统校正方法)在结构上也比较复杂。
  

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参考词条