1) step-and-flash lithography
步进-闪光压印法
2) Step and flash imprint lithography(S-FIL)
步进-闪光压印
3) step imprint tool
步进压印机
1.
Thermally induced error during the exposure process is a major contribution to the repeatable alignment accuracy of the step imprint tool in imprint lithography system.
为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差,以提高压印机的套刻对准精度,运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量,将压印机上布置的温度传感器从15 个减少到6 个,并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z方向热误差关系的数学模型。
5) pearl printing
闪光印花
6) synchronized flash
同步闪光
补充资料：法印
| 法印 adharmamudrà 佛教术语。佛教徒用以鉴别佛法真伪的标准。又译法本、本末、忧檀那等。法指佛法，印喻能印证真伪的佛法之印。凡符合法印的为佛法，不符合的为非佛法。关于法印有三法印、四法印、五法印、一法印之分。①三法印。即诸行无常；诸法无我；涅槃寂静。此说形成较早，多见于小乘经、律、论和大乘经、论。②四法印。在三法印上加一切诸行苦。见于《增一阿含经》。③五法印。在四法印上加一切法空。见于《维摩经》。④一法印。即一实相印。相即真如、法性。上述几种说法并无实质上的差异。 |
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参考词条