补充资料：激光探针

激光探针
laser microprobe

激光探针laser mieroprobe利用聚焦的激光光束照射样品，对材料进行微区激发以实现化学成分或物理光谱测量分析的方法。 利用聚焦的激光光束对固体样品表面进行微区化学分析一般是结合等离子体发射光谱方法实行的。用聚焦的大功率脉冲激光束照射样品，可使固体样品表面的材料局部升温，发生瞬时汽化蒸发。蒸发的原子通过电极间区域放电激发，使等离子体发光。利用等离子体发射光谱可分析材料的组分及杂质元素的种类和含量。此方法灵敏度高，适合于对微区及薄膜样品进行分析，可测量分析多种材料，如金属、半导体、陶瓷等的化学成分。 对材料进行各种激光光谱分析(如光致发光光谱、拉曼散射光谱、反射光谱分析等)时，可采用显微镜聚焦的细聚焦激光光束(激光探针)进行激发。光斑大小可聚焦到微米数量级，实现微区激发。改变激光波长使激光在样品中的吸收发生改变，可调节激光在样品中的透入深度或产生选择性的共振激发。激光探针方法已被应用于获取固体样品表面结构或杂质缺陷分布的二维图象。如在进行激光拉曼光谱测量时，用聚焦激光束在样品表面进行二维扫描，并测量特征的拉曼光谱谱线信号的强度变化，便可在同步扫描的阴极射线管上显示出与激光扫描区相对应的二维图象。近年来，采用高灵敏度的电荷祸合器件阵列等作为探测器，已大幅度提高了此类分析的灵敏度和分辨率。(江德生)

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