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1)  surface etching
表面刻蚀
1.
The research results indicated that with the increase of treatment power ,treatment time and treatment pressure,the surface etching deepened and expanded from non crystalline region to crystalline region,the etching stripes became well-observed, and the surface roughness increased.
结果表明随处理功率增大、处理时间增长和处理压力增高,表面刻蚀随之加深,刻蚀由非晶区向晶区发展,刻蚀条纹渐趋明显,表面粗糙度增加。
2)  etching [英]['etʃɪŋ]  [美]['ɛtʃɪŋ]
表面蚀刻
3)  laser surface ablation
激光表面刻蚀
4)  particulate surface etching
粉粒表面刻蚀
5)  InP(100) surface etching
InP(100)表面蚀刻
6)  surface etching apparatus
表面刻蚀装置
补充资料:电化学刻蚀
分子式:
CAS号:

性质:也称电解浸蚀。在一定的电解液中,采用电化学原理选择性地除去某种金属(或半导体)的过程。可外加电压(为电刷镀的逆过程)或不外加电压(化学刻蚀)。影响电化学蚀刻的因素有电场强度和频率、探测器厚度、蚀刻液浓度和径迹倾角等。化学刻蚀法使用较多,例如在印刷电路板的制作中,通过如下反应:Cu→Cu2++2e-(阳极) ;2Fe3++2e-→2Fe2+(阴极)。按预作保护的图样除去绝缘基板上的铜覆盖层。在微电子装置的制作中,对半导体(如硅)选择性地刻蚀是关键步骤。常用的刻蚀剂有CuCl2,FeCl3,H2CrO4,NH4Cl,H2O2-H2SO4等。

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