1) Gas reflux
气体反流
2) Reactive gas flow rate
反应气体流
3) total gas flow rate
反应气体流量
1.
It is found in the high rate deposition microcrystalline silicon solar cells by very-high-frequency plasma-enhanced chemical vapor(VHF-PECVD) that the performances of the two solar cells which use the intrinsic microcrystalline deposited at two different total gas flow rate of 100 sccm and 500 sccm as their i-layers are obviously different.
因此得出:在高压高速沉积μc-Si薄膜过程中,反应气体流量对μc-Si的纵向结构有很大影响,选择适合的反应气流量能够调节适宜的气体滞留时间,从而减小薄膜的纵向不均匀性。
4) reactor fluid mechanics simulation
反应室气流流体力学
1.
This software package includes three subsystems: reactor fluid mechanics simulation subsystem, reaction thermodynamic simulation subsystem, deposition kinetics simulation subsystem.
该系统包含反应室气流流体力学模拟、化学反应热力学模拟和沉积过程动力学模拟等 ３ 个子系统， 它们可以独立运行， 也可以联合运行。
5) Gas jet recoil transportation
气体射流反冲传输
6) gaseous fluidized reactor
气体流化床反应器
1.
Technical progress in gaseous polymerization of olefin——The gaseous fluidized reactor technology;
烯烃气相聚合技术进展——关于气体流化床反应器技术
补充资料：反流
反流
regurgitation
液体的倒流。例如，二尖瓣关闭不全的病人，当左心室收缩时，血液反流回左心房；又如由于食管下段括约肌功能障碍而引起胃肠内容物反流入食管。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条