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1)  diffraction theory
衍射理论
1.
This paper aims at proving the feasibility of microinter diameter measurement through the analysis of laser diffraction theory.
分析了激光衍射理论在微内径测量上是可行的,并以此为指导研制可实际测量的激光微内径测试仪,通过实验测量的数据并对其进行精度分析,证明设计方案及原理是可行的。
2.
And,using the planar hologram diffraction theory,the coupled wave equations of the volumetric hologram grating diffraction have been derived and the diffraction efficiencies obtained.
将体全息光栅视为许多平面全息光栅的集合,利用平面全息衍射理论导出体全息光栅衍射的耦合波方程,并得到其衍射效
3.
The propagation properties of the bottle beam were described based on geometrical optical theory,interferential theory and diffraction theory.
分析几何光学理论、干涉理论和衍射理论对局域空心光束传输特性的描述。
2)  Vector diffraction theory
矢量衍射理论
1.
The series expansion solution of vector diffraction theory and the validity of scalar approximation;
矢量衍射理论的级数解及其标量近似的有效性
2.
The vector diffraction theory analysis of chromatic dispersion characteristics of phase grating;
位相光栅色散特性的矢量衍射理论分析
3.
An improved design of splitters has been proposed using the vector diffraction theory to narrow the gap between the design and the splitting effect due to the fact that the real period length, grating depth and substrate depth are not considered in the traditional splitter design.
为改进传统分束光栅的设计中不考虑光栅的实际周期长度、光栅深度、基底厚度等因素对各透射级次光波振幅的影响,设计结果与实际制作光栅的分束效果相比差距较大的不足之处,基于矢量衍射理论,提出了光栅分束器的改进设计方法。
3)  scalar diffraction theory
标量衍射理论
1.
Non-paraxial corrections of scalar diffraction theory;
标量衍射理论的非傍轴修正
2.
Analysis and comparison of the scalar diffraction theory and coupled-wave theory about grating;
光栅的标量衍射理论与耦合波理论的分析比较
3.
Based on the vector diffraction theory, the vector description of the far field diffraction at a plane aperture is derived, the comparison between the vector theory and the scalar theory is made, and the error and applicability of scalar diffraction theory is presented.
在矢量衍射理论的基础上 ,给出了偏振光、自然光照射的情况下 ,平面孔远场衍射的矢量描述 ,与标量衍射理论进行了比较 ,指出了标量衍射理论的误差及适用范围 ;对于孔径与波长相当的微小孔的大角度衍射 ,标量衍射理论存在一定的误差 ,而必须采用矢量衍射理论
4)  RSD theory of diffraction
平面波衍射理论
5)  Fourier diffraction theory
傅里叶衍射理论
1.
However, analysis of transfer function with Fourier diffraction theory will be inadequate, and shadowing effects must be considered for oblique illumination.
针对现代光刻中,超大数值孔径的情况下,通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确,必须得考虑倾斜照明带来的阴影效应。
6)  diffraction theory with aberration
失真的衍射理论
补充资料:衍射的几何理论
      应用射线概念分析电磁波衍射特性的渐近理论,简称 GTD。几何理论是单色波场方程的解在频率趋于无限时的极限,因而也是适合于高频情形的渐近解,而这种理论的基本思想是把均匀平面波在无限平界面上的反射和折射、在半无限楔形导体边缘上的衍射和沿圆柱导体表面的爬行波严格解的渐近式,应用于从点源发出的球面波或线源发出的柱面波在圆滑界面上的反射和折射、在弧形导体刃口上的衍射和沿导体凸表面的爬行,并把它作为问题的0阶段近解。
  
  这种解法包括三个方面的计算:
  
  ① 射线描述。当源点P┡和场点P的位置已定时,由P┡点到达 P点的反射线和衍射线应当是一条极值线。根据这条原则来判定反射点、衍射点和爬行线。在弧形刃上衍射时(图1),如比和都大或都小,A 点就是衍射点,这点的切线P┡A和 PA的夹角一定相同。在凸曲面上衍射时,如图2, P┡A、P┡A1、P┡A2、和PB、PB1、PB2都是到曲面的切线,如果比相邻的两条路径都短,则就是爬行线,这条短程线是两端固定在P┡和P的绷紧橡皮筋的自然形状。
  
  ② 反射系数、衍射系数和爬行线的衰减系数采用无限直刃和无限长圆柱上严格解的渐近结果。
  
  ③ 投射波、反射波和衍射波的场强各与其主曲率半径的几何平均数成反比,而确定反射波和衍射波曲率矩阵的原则是相位匹配。所谓相位匹配,如图3,设A是衍射点,A┡是其邻点,则,A、A┡两点所在的衍射波面的相位差与 A、A┡两点所在的投射波面的相位差应当相同。
  
  衍射的几何理论最早是由J.B.凯勒于1957年提出来的,后来经许多人的工作而日趋完善,在处理很多异形物体的散射问题以及用数值计算解散射和衍射问题中得到应用。但是,因为严格解的渐近式在阴影区与照明区的过渡区域不能成立,所以在这个区域,GTD 不能应用,为了弥补这一缺陷,J.波斯马等人后来提出一致渐近理论 (UAT)。这个理论的基本思想是,给投射波乘以人为因子,使这因子在照明区内近于1而在阴影区内近于0,在过渡区内则随着场点趋近于照明区边界而无限增大。将这乘了因子的投射波与衍射波的渐近式相加能一致连续,这种理论也得到了广泛的应用。但是,它的基础仅仅是一个估值(ansatz),而且在刃口以及其他焦散线附近,它和 GTD同样不能应用。然而射线理论有很多优点,人们仍在探索改进的途径。
  

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