1) DC arc plasma jet
直流电弧等离子喷射
1.
Study on deposition of large area diamond wafers by DC arc plasma jet;
直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
2.
Diamond films with different thicknesses were deposited on molybdenum substrates by a 100 kW DC arc plasma jet CVD system at 850 and 950 ℃.
在气体循环条件下采用H2、CH4和Ar的混合气体,利用100kW直流电弧等离子喷射CVD系统,在850和950℃下在Mo衬底上沉积了不同厚度的金刚石膜;并利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和Raman光谱对膜的形貌、品质、取向和残余应力进行了分析。
2) DC arc plasma jet
直流电弧等离子体喷射
1.
Application of DC arc plasma jet in the commercialization of CVD diamond films;
直流电弧等离子体喷射在金刚石膜制备和产业化中的应用
2.
Numerical model for large area diamond film deposition by DC Arc Plasma Jet CVD method is proposed.
建立了直流电弧等离子体喷射ＣＶＤ大面积金刚石沉积数学模型。
3.
But during the process of producing diamond film by chemical vapor deposited technology, such as DC arc plasma jet, the problem of film cracking caused by excessive residual stresses has not been well solved yet.
本文以直流电弧等离子体喷射法制备自支撑金刚石厚膜为研究对象,以等离子体炬内外复杂的电、磁、热、力多场耦合变量以及金刚石膜热-力耦合条件下的应力为研究目标,对等离子体的流动和传热以及自支撑金刚石厚膜在制备中各个阶段的应力进行数值模拟,并揭示大尺寸金刚石厚膜发生开裂破坏的原因及其影响因素。
3) DC arc plasma jet method
直流电弧等离子喷射法
4) DC arc plasma jet CVD
直流电弧等离子喷射化学气相沉积
5) DC-arc plasma jet CVD
直流电弧等离子体喷射化学气相沉积
1.
In order to synthesize high quality surface acoustic wave devices and explore the deposition process of diamond films,large-area high-quality diamond films were deposited on silicon substrate by DC-arc plasma jet CVD.
为制备高质量的声表面波器件,探索金刚石薄膜的沉积工艺,采用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积技术和特殊的复合衬底技术,在单晶硅衬底上制备了大面积、高质量的金刚石薄膜,成功解决了单晶硅衬底在沉积金刚石薄膜过程中产生的变形问题。
补充资料：等离子电弧重熔
等离子电弧重熔
plasma arc remelting
熔(E SR)优点的等离子熔炼技术. 1963年美国联合碳化物(Union Carbide)公司下 属的林德(Linde)公司研制了两台实验型PAR炉，分 别装有1支和2支等离子体发生琴(即等离子枪)，均 采用立式水冷结晶器。同年，捷克斯洛伐克也用类似炉 子进行了试验研究。从70年代开始前苏联和日本等国 进行了大量的研究工作并将其应用于工业生产。乌克 兰巴顿电焊研究所在70年代就研制了PAR的系列设 备。最大炉子的功率为18ookw，采用6支等离子枪， 可生产直径达65omm的5t钢锭。日本大同特殊钢公 司于1972年开始进行PAR技术的试验，先后建成 25kg和50kg的试验炉并称之为PPC炉，1982年建成 了2t的工业炉。 设备主要包括1个或多个等离子枪、电极及其 升降装置、合金及其他炉料的加料装置、水冷铜结晶 器、抽锭装置、供水和供气系统、电源及供电回路等。图 1是两种典型的PAR炉的设备示意图。根据等离子气 体种类、电源和枪的种类，结晶器结构和安装方式的不 同具有不同的设备类型。图2归纳了PAR在设备及工 作条件的各种不同方式。等离子枪一般为转移弧型，可 采用直流、交流或在交流电上附加直流操作。由于枪内 阴极是钨及其合金制作，故通常是非自耗式的。中空阴 极自耗式枪和等离子电子束枪是两种特殊情况。大多 数PAR炉采用立式结晶器。也有的采用卧式结晶器或 带由旋转辊组成的卧式结晶器，其优点是可降低对炉 料的形状和化学成分的均匀性要求。
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参考词条