3) small-scale integration chip
小规模集成电路芯片
5) OE-VLSI
光电超大规模集成电路
6) ULSI
超大规模集成电路
1.
Copper Electrodeposition in ULSI;
超大规模集成电路中的电沉积铜
2.
Study on Polishing Slurry for Silicon Substrate in ULSI;
超大规模集成电路制备中硅衬底抛光液研究
3.
An Energy Transfer Photochemical Model for the Abatement of Total Organic Carbon in High Purity Water Used in ULSI Fabrication;
降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型
补充资料：超大规模集成电路
分子式：
CAS号：
性质：它是大规模集成电路的集成度不断提高而出现的新概念，一般认为，集成度达1万个门电路或10万个元件以上的大规模集成电路，称为超大规模集成电路，即集成度为256K；线宽尺寸为1.2～1.5μm。它的最显著的特点是具有整机功能。
CAS号：
性质：它是大规模集成电路的集成度不断提高而出现的新概念，一般认为，集成度达1万个门电路或10万个元件以上的大规模集成电路，称为超大规模集成电路，即集成度为256K；线宽尺寸为1.2～1.5μm。它的最显著的特点是具有整机功能。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条