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1)  vee cutting
V型拉槽
1.
An example of the application of vee cutting blasting technology in the cutting excavation of a certain highway in Anhui Province is introduced in this paper, and the design of blast-hole arrangement, blasting parameters, initiating network,stemming and safety measures are presented.
以中深孔V型拉槽爆破技术在安徽省滁宁高速公路路堑开挖中应用为例,讨论了V型拉槽爆破的炮孔布置、爆破参数选择、起爆网路设计和爆破安全评估等技术问题。
2)  V slot
V型槽,V形槽
3)  V-groove
V型沟槽
1.
The effects of the tip shape of V-groove on drag reduction and flow field characteristics by numerical analysis;
V型沟槽尖峰形状对减阻效果及流场特性影响的数值分析
2.
The flow in turbulent boundary layer and the viscous drag over V-groove surface are numerically simulated using the RANS formula and RNG k-ε turbulence model.
采用雷诺平均N-S方程和RNGk-ε湍流模型计算V型沟槽面的湍流边界层流动和粘性阻力,研究了沟槽尖峰形状和雷诺数对减阻效果的影响规律,初步分析了沟槽面减阻机理。
3.
The flow in turbulent boundary layer and the viscous drag over V-groove surface are numerically simulated by using the RANS formula and RNG-turbulence model.
采用雷诺平均N-S方程和RNGk-ε湍流模型计算V型沟槽面的湍流边界层流动和黏性阻力,通过改变来流速度大小和沟槽面布置位置,研究了雷诺数对沟槽减阻特性的影响规律。
4)  silicon V-groove
硅V型槽
1.
One-dimension optical fiber array with silicon V-grooves;
采用硅V型槽的一维光纤阵列的研制
5)  V-groove
V型槽
1.
Research on Fabrication Technology of Silicon V-groove with High Precision;
高精度Si-V型槽的制备技术研究
2.
Design and Fabrication of Silicon Micro-bench with V-groove for Coupling;
耦合用硅片V型槽的设计与制作
3.
A mechanics of contact and radial crushing strength are used to analyze the force properties of the photonic crystal fiber which is placed in the V-groove.
运用接触力学和圆环压溃强度理论对由V型槽固定的光子晶体光纤进行了受力分析。
6)  V groove
V型槽
1.
V grooves fabricated in LiNbO3 substrates via its the special characteristics is suggested.
本文主要研究外加电场极化法制备周期极化铌酸锂晶体(PPLN)的技术和应用,并利用周期极化铌酸锂晶体具有的特殊化学性质,提出在局部畴反转的铌酸锂衬底上刻制出V型槽的方法,这种V型槽将用于简化铌酸锂光电器件的耦合封装。
补充资料:V型槽金属-氧化物-半导体集成电路
      在硅片表面上刻蚀出V型凹槽,并利用双扩散或外延生长等工艺在槽内制作的MOS集成电路,称为 VMOS电路。
  
  基本原理  有些化学试剂对硅单晶的不同晶面有不同的腐蚀速率,即各向异性的腐蚀特性。使用某些专门的腐蚀液,如N2H4和H2O各占50%的溶液、18克分子浓度的KOH等,对硅的腐蚀速率为[100]>[110]>[111],[100]晶面的腐蚀速率几乎是[111]晶面的100倍。使用SiO2作为腐蚀掩模,可以在[100]晶面的硅片上腐蚀出由四个会聚的[111]晶面组成的孔,形状如同倒置的金字塔。腐蚀深度与氧化层开口宽度之比为 0.707,每一个腐蚀出的[111]面与硅片表面成54.74°角。使用另外的腐蚀液,对不同电阻率的硅有不同腐蚀速率,可使腐蚀前沿成为截顶的倒置金字塔形的腐蚀坑。前者腐蚀坑的剖面为 V形槽,后者则为U形槽。
  
  结构  经过外延生长、双扩散或离子注入等工艺加工的硅片,经过腐蚀可制成VMOS或UMOS场效应晶体管,其结构如下图。N+硅衬底上的N-层是靠外延生长得到的。P型层和N+层用双扩散法或离子注入法获得。其他栅极和氧化层的制做与常规MOS工艺相同。这种MOS晶体管的沟道是口字形,位于P型区的倾斜表面上。V型(或U型)槽有一定倾角,所以沟道长度约为P型层厚度的1.5倍。在沟道与漏之间设置N-外延层,是为了增加击穿电压并减少输出电容。
  
  
  
  
  
  应用和发展  VMOS电路的优点是利用立体结构提高集成密度,获得自对准(由扩散层深度而不是由光刻分辨率决定)的短沟道结构,可用于高密度大规模集成电路。它能与E/D NMOS或 DMOS电路(见双扩散金属-氧化物-半导体集成电路)技术兼容。但是,这种工艺比较复杂,[111]晶面沟道的电子迁移率低,除少数高密度的只读存储器产品外,对其他产品尚未推广应用。另一方面,VMOS晶体管由于沟道短,宽长比可以做得很大,没有二次击穿效应,而且可用于多数载流子器件的抗辐射方面,在作为高频大功率有源器件方面有重要进展。设计的主要问题是既要有低的导通电阻,又要有高的击穿电压。对于VMOS结构高频功率管,通过选择合适的外延层(电阻率和厚度)、采用多 V型槽并联、加离子注入保护环和台面结构等方法可以解决这一问题。采用UMOS结构可使槽底平坦,减少电场集中效应,能提高击穿电压。同时,在栅极加正电压时,栅漏覆盖区变为累积层,也有利于扩展电阻的减小。击穿电压高达几百伏的VMOS晶体管已经研制成功。
  

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参考词条