1) More target sputtering together
多靶共溅射
2) multi target sputtering
多靶溅射
3) dual targets sputtering
双靶共溅射
4) multi_component sputtering
多元靶溅射
5) magnetron plasma sputtering
多靶磁控溅射
1.
Au/SiO_2 nano-composite multilayer thin films were prepared by magnetron plasma sputtering.
利用多靶磁控溅射技术制备了Au/SiO2纳米颗粒分散氧化物多层复合薄膜。
6) multi-target IBS
离子束多靶溅射
补充资料：多功能磁控溅射镀膜机
多功能磁控溅射镀膜机
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参考词条