1) diffraction interference scale
衍射干涉激光尺
1.
The X/Y coarse motions are detected by the developed diffraction interference scales, which provide position feedback to the control syste.
介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25 mm范围及5 nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位置回馈测量系统可具有0。
2) Grating diffraction interferometry
光栅衍射干涉
1.
Grating diffraction interferometry for measuring film refractive index;
测量薄膜折射率的光栅衍射干涉方法
3) double grating diffraction interference
双光栅衍射干涉
5) diffraction interferometry
衍射干涉
1.
A point-diffraction interferometry was presented based on Fourier transform instead of the phase-shifting point-diffraction interferometry.
在相移算法的点衍射干涉术的基础上,提出了基于傅里叶变换的点衍射干涉测量术。
补充资料：激光衍射计量技术
激光衍射计量技术
laser diffraction measuring technique
i心uang yonshe iijiong iishu激光衍射计t技术(1~diffiaCtion~ngtec俪que)利用激光衍射条纹的变化精密测量长度、角度、轮廓的一种全场计量方法。 激光衍射计量利用的是激光的远场衍射效应，即夫琅和费衍射。激光照射被测量(如狭缝、圆孔等)后，将产生衍射条纹，如图所示。利用激光衍射系统进行精密测量有两种方法:①记录固定点的衍射强度(如图a中A和B点);②记录衍射条纹极值点之间的距离(如图b中‘)。根据测得的衍射条纹信息，通过衍射公式，可求出被测量值。在实际应用中常用的激光衍射计t技术有:①间隙计量法，主要用于尺寸的比较侧t、工作形状的轮廓测量及应变测量等;②反射衍射法，主要用于表面质量评价、直线性评定、间隙测定等;③分离间隙法，主要用于液体折射率测量、薄膜材料厚激光衍射条纹示意图度及表面涂层厚度的测量等;④互补测量，用于细丝(金属丝、光导纤维及各种合成纤维丝等)或薄片(游丝等)的测量;⑤艾里斑测量，主要用于徽孔直径的测量。激光衍射测量灵敏度高，现已达0.1脚，测t准确度一般小于0.1%，装置简单，操作方便，可实现动态联机测t和全场测量。但其绝对量程比较小，量程范围约为0.01~一1.5~。(刘庆纲)
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条