变线距光栅能够自动聚焦和消像差,在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景,本文用干涉法测量变线距光栅的密度,设计并给出了实验中的光路,发现了环形的干涉条纹和变化规律,分析了这些现象产生的原因,产生明显的环形条纹的必要条件首先是变线距光栅的线密度单调变化的,连续增加或连续减小,其次要光栅的刻线是弯的,第三虚栅的密度接近待测光栅的整数倍,由于元件位置偏差,检测用的平面波会变成球面波,也会产生环形的干涉条纹,但是这种效应可以忽略。

变线距光栅在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景 ,它的制作和检测方法尚未成熟 ,本文在介绍变线距光栅线密度变化规律的基础上 ,采用级数形式表达变线距光栅线密度 ,比较了几种测量方法后 ,将云纹法引入变线距光栅的检测中 ,从理论上介绍了几何云纹法和云纹干涉法 ,几何云纹法适合于线密度很低的光栅 ,云纹干涉法适合于线密度较高的光栅 ,云纹的密度反映了光栅的线密度 ,如果云纹非常密 ,精确地测量所有云纹的坐标比较难 ,可以用数云纹数目的方法测出光栅的密度变化 ,就变线距光栅的检测分别给出了有关理论公式 ,并给出实际测量中的光路和初步的结果 ,最后指出这种方法可以用在变线距光栅的加工

考虑国内外的研究现状和结合现有的技术,西安某所开展了变栅距光栅位移传感器的研究,在样机实验中取得了圆满成功,并开始了从原理样机走向工程样机的研究。

用于位移传感器的全息平面变间距光栅设计与制作研究

采用名义栅距为 1/12 0 0mm、凹面曲率半径为 5 6 49mm的变栅距凹面光栅 ,研制了一种小型平焦场光栅光谱仪。