1) selection of pumping speed match
抽速比选择
2) Etch Rate Selectivity
刻蚀速率选择比
1.
The main problems are the low Etch Rate Selectivity causing Over etch on the top Oxide of Gate and the low Etch Rate Uniformit.
18微米技术侧壁(Spacer)工艺在栅极密集区域,栅极底部有斜坡的缺陷,指出了现有设备和工艺所遇到的一些问题,然后针对所面临的主要问题,即因为刻蚀速率选择比不够高而造成对栅极上方氧化膜的过刻蚀,同时,刻蚀速率均匀性偏低,造成中心区域Spacer形状过于倾斜,线宽过小的问题。
3) choice sample
选择抽样
4) selecting extraction
选择抽取
1.
Edge surface model selecting extraction algorithm within 3D images;
三维图像边缘曲面模型交互式选择抽取算法
5) selective pumping
选择抽运
6) selective abstraction
选择性抽象
补充资料：选择性溶剂抽提
分子式：
CAS号：
性质：以适当溶剂对石油馏分进行抽提，分离除去不理想组分的过程。选择性溶剂抽提是炼油工业广泛应用的分离石油组分的方法。由于目的产品和处理原料的不同，选用的溶剂也各异。例如自重整生成油中抽取苯类(苯、甲苯、二甲苯)多使用三乙二醇醚或二乙二醇醚。而自润滑油原料中除去多环芳烃和胶质则使用酚、糠醛等为抽提溶剂。对减压渣油脱沥青则使用碳三到碳五的轻烃为溶剂。由于各种溶剂的溶解性能不同，其操作条件各异。过程使用的主要设备除抽提塔外，还有溶剂回收装置。
CAS号：
性质：以适当溶剂对石油馏分进行抽提，分离除去不理想组分的过程。选择性溶剂抽提是炼油工业广泛应用的分离石油组分的方法。由于目的产品和处理原料的不同，选用的溶剂也各异。例如自重整生成油中抽取苯类(苯、甲苯、二甲苯)多使用三乙二醇醚或二乙二醇醚。而自润滑油原料中除去多环芳烃和胶质则使用酚、糠醛等为抽提溶剂。对减压渣油脱沥青则使用碳三到碳五的轻烃为溶剂。由于各种溶剂的溶解性能不同，其操作条件各异。过程使用的主要设备除抽提塔外，还有溶剂回收装置。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条