1) Polysilicon Surface Micromachining
多晶硅表面微机械
2) Silicon surface micromachining
硅表面微机械
3) micromachined polysilicon thin film resistor
微机械多晶硅薄膜电阻
4) poly silicon micromachined switch
多晶硅微机械开关
5) surface micromachining
表面微机械
1.
This paper focused on the design and fabrication of ECS with polysilicon surface micromachining technology.
该文用表面微机械工艺研制出静电梳状驱动结构，在理论分析基础上，使用电容提取软件Ｆａｓｔｃａｐ和有限元分析软件Ａｌｇｏｒ进行了电学模拟和材料力学模拟，并针对灵敏度进行了优化设计。
6) Surface micromachining
表面微机械加工
1.
Aiming ot the importance of the automobile tire pressure monitoring system,in this contribute we present the principle of direct TPMS on intelligent sensor,and introduce the principle and surface micromachining of KP500.
针对轮胎压力监控系统(TPMS)在保障汽车舒适性与安全性上的重要作用,介绍了基于智能轮胎压力传感器KP500的直接式轮胎压力监控系统的原理,以及KP500传感器的原理和表面微机械加工(SMM)制作工艺。
2.
The key technologies such as data reading,control and surface micromachining of micro intelligent sensor are mainly discussed.
文章介绍了直接式轮胎压力监控系统(PSBTPMS)的构成和原理,重点讨论了应用于直接式轮胎压力监控系统中的微型智能传感器的数据读取、控制和表面微机械加工等关键技术,并对未来智能轮胎压力监控系统提出了几点发展方向。
补充资料：硅多晶的硅烷法制备
硅多晶的硅烷法制备
polycrystalline silicon manufacture by silane process
gUIdUOJIng de gu一Wanfa zh一bei硅多晶的硅烷法制备(polyerystalline silieonmanufaeture by silane proeess)以甲硅烷作.介质的硅材料超提纯技术。是硅多晶的重要生产方法之一。其实质是先用硅粉或硅的化合物制成甲硅烷(SIH小然后用精馏等方法进行提纯，将纯SIH4经热分解siH;干里止篷些生51+2H2而得硅多晶。siH、无腐蚀性，热分解温度低且分解率高，故此法所得硅多晶的纯度高，产率高;但因SIH魂易燃易爆，需采取专门措施。 2。世纪50年代，一些厂家曾试图用硅烷法制造硅多晶，均因未解决好爆炸问题而被迫停产。首先实行稳定生产的是日本小松电子金属公司与石嫁研究所合作开发的以硅化镁作原料的工艺。其反应式为: NH。 MgZSi+4NH;CI一SIH4个斗ZMgC12+4NH:个 siH。再经低温精馏，然后经热分解得硅多晶棒。由于合成过程中有NH3存在，在以下工序的设备上装有真空夹套，较彻底地解决了燃烧与爆炸问题。此法于1960年开始生产，硅多晶的纯度优于西门子法(见硅多晶的西门子法制备)，其硼含量一般小于千亿分之一。但由于成本高等原因，其生产规模停滞在很小的水平上。 美国联合碳化物(UCC)公司研究成功了新硅烷法，使成本大幅度降低，并于1985年正式投产。此法利用如下合成和歧化反应获得硅烷: 51+2H2+3SICI;一4SIHC13 65爪HC13一3SIHZC12十3SICI咋 4SIHZC12一ZSIH3CI+ZSIHC13 3SIH3CI一SIHZCI:+SIH、 整个过程是闭路，一方投入硅与氢，另一方获得硅烷，因此排出物少，对生态环境有利，同时材料的利用率高。硅多晶的纯度高，其硼含量同样小于千亿分之一。产品多用于制备区熔硅单晶，包括辐射探测器用硅单晶(见辐射探测器用锗单晶和辐射探刚器用硅单晶)，也用于优质直拉硅单晶(见半导体硅材料)的制备。 美国埃西尔(Ethyl)公司利用磷肥生产的副产品制成硅烷，经提纯后进入流态化床进行热分解，制成平均粒径为0.7~。.75mm的颗粒状硅多晶，其硼含量小于0.3ppba，已批量生产。这种产品已用于硅的直拉法单晶生长，有可能用于正在开发的连续直拉法单晶生长。 (万群)
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参考词条