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1)  surface micromachining
表面微机械
1.
This paper focused on the design and fabrication of ECS with polysilicon surface micromachining technology.
该文用表面微机械工艺研制出静电梳状驱动结构,在理论分析基础上,使用电容提取软件Fastcap和有限元分析软件Algor进行了电学模拟和材料力学模拟,并针对灵敏度进行了优化设计。
2)  Surface micromachining
表面微机械加工
1.
Aiming ot the importance of the automobile tire pressure monitoring system,in this contribute we present the principle of direct TPMS on intelligent sensor,and introduce the principle and surface micromachining of KP500.
针对轮胎压力监控系统(TPMS)在保障汽车舒适性与安全性上的重要作用,介绍了基于智能轮胎压力传感器KP500的直接式轮胎压力监控系统的原理,以及KP500传感器的原理和表面微机械加工(SMM)制作工艺。
2.
The key technologies such as data reading,control and surface micromachining of micro intelligent sensor are mainly discussed.
文章介绍了直接式轮胎压力监控系统(PSBTPMS)的构成和原理,重点讨论了应用于直接式轮胎压力监控系统中的微型智能传感器的数据读取、控制和表面微机械加工等关键技术,并对未来智能轮胎压力监控系统提出了几点发展方向。
3)  surface micromachining technology
表面微机械技术
1.
A 1310nm micromachined tunable Fabry-Perot filter based on InP/air-gap distributed Bragg reflectors(DBRs) is fabricated by using surface micromachining technology.
采用表面微机械技术制作了一种1 310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器。
4)  Silicon surface micromachining
硅表面微机械
5)  Polysilicon Surface Micromachining
多晶硅表面微机械
6)  Surface-micromaching technology
表面微机械加工技术
补充资料:海洋表面微层
      又称海洋微表层,是海洋的表面层或表面膜。海洋水体中的物质不断向表面扩散,或被对流、上升流和上升的气泡带至海洋表面;大气中的物质因沉降作用或随降水而进入海洋表面;细菌等微生物的生化作用和光化学过程,也会在微表层中产生各种有机物质或无机物质:使微表层的化学组成和物理性质与其以下的海水本体不同。此外,有的微表层物质是海上船舶溢漏的。相反,海洋微表层物质在上升气泡破裂时形成气溶胶进入大气,或被颗粒物质吸附而沉入水体;挥发作用和溶解作用也分别使微表层物质进入大气和水体(见图)。
  
  实验测定的海洋微表层的组成和性质,与不同的取样器和所取的表面层的厚度有关。常用的有各种筛子和转鼓式表面层取样器,也可用玻璃板垂直从水中提出水来的方法采集表面层样品。这些采样方法,均可取到厚度只有 100微米左右的表面微层的样品。用锗制成的棱晶吸附的表面膜,薄至10-2微米,可直接用红外光谱法测定膜中有机物的基团。如果用气泡切片机采样,可取得 1微米厚的表面层。但研究中所用的表面层样品,厚度大都在100微米左右。
  
  通过表面层化学组分的分析,说明海洋微表层对海水中的许多溶解组分、不溶解组分和颗粒物质都有富集作用。在微表层中常富含 8~10个碳原子的脂肪酸、脂肪酸酯、脂肪醇、饱和烃及不饱和烃,并含有多肽和多糖成分(见海水有机物),还有较多的细菌和浮游生物。在近岸水域的微表层中,除上述成分外,还富集有多氯联苯和氯代烃等农药。另外,还发现微表层对微量金属的有机化合物、磷酸盐、铵盐和硝酸盐均有不同程度的富集作用。这些物质在微表层中的富集,与上升气泡的吸附、表面活性剂的选择性吸附、光化学反应和生物作用等有关。
  
  由于微表层的存在,一些元素由海水迁入大气时,它与参考元素钠或氯的重量比发生差异,称为分级作用。表面膜使水的蒸发量减少,故使表层的水较温暖。有时在海-气之间出现的厚油膜,降低了气体交换的速率(见气体在海洋与大气间的交换)。这种膜层的存在,能使表面张力降低。例如:在近岸水域中由于多分子膜的存在,会造成对表面张力波的阻尼效应,并使水的光反射性质发生变化。
  
  要进一步研究海洋的微表层,必须发展采集更薄的表面水层的取样技术,以便研究其化学、物理和生物学性质与海水本体间的差异程度。
  

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