1) LDWS
激光直写入
1.
AUTO FOCUSING IN LDWS BY USING COLLIMATING EYELET METHOD;
准直小孔法自动调焦在激光直写入系统中的应用
2) laser direct writing
激光直接写入
1.
This provides a convenient way for investigating laser direct writing process.
同时，通过对显影速率作阈值近似后，导出了光刻胶曝光显影后面形与表面所需曝光量分布之间的关系，为激光直接写入提供了理论指导。
2.
In the single point laser direct writing (LDW) process, there are some difference between the exposure dose distribution and the light intensity distribution, and the difference will bring the line profile errors.
基于直角坐标激光直接写入系统和极坐标激光直接写入系统,分别给出了曝光量分布的计算公式,讨论了曝光量分布和光强分布之间的差别。
3) laser direct writing
激光直写
1.
Optimization of S-curve intensity control model for laser direct writing;
激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化(英文)
2.
Realization of electric control of laser direct writing mesh on concave spherical substrate;
激光直写凹球面网栅的电控实现
3.
Two beam interference laser direct writing technique for disk security;
干涉型激光直写技术用于光盘防伪
5) laser direct writing device
激光直接写入设备
1.
The optical writing object lens of the laser direct writing device must be focused in spots by a focusing-servo mechanism.
在激光直接写入设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺服。
补充资料：激光准直仪
激光准直仪
laser collimator
iiguang Zhunzhiyi激光准直仪(laser Collimator)利用激光束标定直线的仪器。通常由激光发射系统和光电检侧系统组成。其原理是:利用激光的方向性好、发散角小、亮度强等特点，通过望远镜作定向发射，在空间形成一条光束作为准直的墓准线。分为激光经纬仪准直和波带板激光准直。激光经纬仪准直，由望远镜发射器和光电检测器(光电接收靶)组成。激光通过望远镜发射，调节焦距使光束能在接收靶上形成较小的光斑，在需要准直的点上用光电检测器观测光斑能量中心，以测定各点偏离基准线的偏差值。激光束受本身的漂移和大气条件的影响，准直精度约为长度的10一5一10一“。用于军用坑道和飞机洞库等地下工程开挖、管道敷设、建筑物施工等。波带板激光准直仪，由激光器点光源、波带板装置与光电接收靶组成。测量时，在基准线两端点上分别安置激光器和接收靶，在中间需要准直的点上安置波带板，激光器l掖光源发射出一束激光，照射到波带板，在接收处由于光干涉作用聚焦形成亮点或亮十字线。根据光的衍射原理，激光发射中心、波带板中心及成像光斑中心将构成一条直线。三点准直克服了漂移，能提高准直精度，若让激光束穿过真空管道，还可克服大气折射影响，准直精度达长度的10一7。用于军事工程长距离精密准直测量，例如导弹发射用的火箭橇轨道、高能粒子对撞机直线加速器、大型机械设备轴线安装及建筑物变形观测等。 (于来法)
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参考词条