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1)  on-line endpoint detection
在线终点检测
2)  off-line endpoint detection
离线终点检测
3)  Endpoint detection
终点检测
1.
Endpoint detection in high density plasma etching system based on IEP;
基于IEP的高密度等离子体刻蚀过程终点检测技术
2.
The most obviously of all, it needs oneefficient endpoint detection system to monitor CMP operation to avoid polishing over or not polish-ing completely.
化学机械抛光是硅片全局平坦化的核心技术,然而在实用阶段上,这项技术还受限于一些制造系统整合上的问题,其中有效的终点检测系统是影响抛光成效的重要关键。
4)  end of line
测线终点
5)  At the finish line.
在终点线处
6)  on-line inspection
在线检测
1.
Application of electronic tongue in on-line inspection of food;
电子舌在食品加工在线检测中的应用研究
2.
Experiment study on on-line inspection and control of emulsion concentration;
乳化液浓度在线检测与控制的试验研究
3.
An experimental study of coated glass defection on-line inspection system;
镀膜玻璃的瑕疵在线检测系统实验研究
补充资料:红外线检测


红外线检测
infra-red inspection

hongwo一x一onJ一onee红外钱检测(infra一red inspeetion)采用侧t红外辐射的办法,检测构件表面温度或温度分布,以确定其运行状态或是否存在内部缺陷的无损检测技术.红外线是波长范围为0.75尸nl~100勿止m的电磁波。构件表面都辐射红外线,其功率与温度的四次方成正比。热像仪或红外辐射计接收红外线辐射后转变为与温度四次方成正比的电信号,从而可测出构件表面的温度及其分布。当构件存在缺陷时,无论其本身具有热源,或另外加热(如用电流、等离子枪、火焰喷射枪、红外灯等)、或冷却都会导致温度分布异常。从这些异常中即可探侧出缺陷部位之所在.红外线检侧的特点是可以非接触远距离进行,特别适用于探测高速旋转、高温、带高电压及对人身安全危害性大的构件和设备的退度变化情况,并可以对被检构件进行大面积普查。若被检构件在仪器视场之外或被不能透过红外线的物体遮挡时,可用红外光导纤维把红外线引出来进行探侧.红外线检测还具有准确、可靠和实时显示的特点,但用于定性探伤还存在一定局限性。 红外线检测在电力工业中主要应用于:①发电机转子分层绝缘红外检测。将红外光导纤维从通风槽插人对准转子表面,通过红外探测器和信号处理系统,可测出转子表面温度分布曲线,从而判定绝缘层的损坏程度。②发电机滑环炭刷磨损红外检验.用热像仪观测炭刷温度,判定其运行是否正常。③发电机定子汇流端接触不良红外检验。用热像仪从发电机窥视孔观侧汇流端的过热点.以确定接触不良的部位。④发电机定子铁芯红外检验是在施加励磁电流后用热像仪扫描便可得出有无局部短路的热像。⑤变电站与升压站电气设备的红外检验。高压电气设备和避雷器、电力电容器、互感器、电力电缆、高压断路器、接头、刀闸、开关、穿墙套管和变压器的瓷套管等,均可用热像仪测出其过热部位。⑥可对热力设备如锅炉炉顶、炉墙、烟道、风管、除氧器、加热器、主蒸汽管、再热蒸汽管、高压给水管、导汽管、汽缸等进行红外检验,用热像仪查找漏热并做出热损耗分析。也可对水冷壁管内壁腐蚀情况作红外检验。⑦利用直升飞机携带红外热像仪进行高压翰电线路的巡测,可有效地检测出高压输电线路中如导线压接头及瓷瓶等的缺陷。
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参考词条