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1)  optical lithography
光学光刻
1.
Off-axis illumination for optical lithography;
光学光刻中的离轴照明技术
2.
It includes The new ntase-shift mask and combined simulation for the optical prox-imity effects of projection optical lithography and mask processing.
介绍了国内研究光学光刻波前工程的一些成果,如新型移相掩模、投影光刻的邻近效应和掩模加工的邻近效应的组合模拟等。
2)  photolithography [英][,fəutəli'θɔgrəfi]  [美][,fotolɪ'θɑgrəfɪ]
光学光刻
1.
Photolithography Pushing Forward to Nano-Fabrication;
光学光刻技术向纳米制造挺进
2.
Trend of Photolithography Technology and Its Equipment in 21st Century;
本文主要阐述了光刻技术的发展极限及 193nm、 157nm光学光刻技术和电子束投影光刻 (SCALPEL)、X -射线光刻 (XRL)离子投影光刻 (IPL)等技术的发展趋势。
3.
Fractional Fourier Domain Filtering Applied to Improve Image Quality in Photolithography;
随着微电子和信息技术的飞速发展,高密度、高速度、超高频微电子器件不断推陈出新,促使微细加工技术不断向着超精细领域发展,对传统光学光刻技术的分辨本领提出更高的要求。
3)  nm optical lithography
193nm光学光刻
4)  157um optical lithography
157nm光学光刻
5)  optical chemical etching
光化学蚀刻
1.
This article studies the process used optical chemical etching and electrochemical polishing synthetically,discusses the influence of the factor in the process and the application range of this process.
研究了光化学蚀刻与电化学抛光相结合的加工工艺 ,讨论了加工过程中各种因素对加工的影响及加工工艺的适用场合。
6)  technology for optical lithography
光学光刻技术
补充资料:负性光刻胶
分子式:
CAS号:

性质:光加工是指以可见紫外光、X射线、电子束、或者离子束作为加工手段的材料处理工艺,具有加工精度高,容易自动化等特点,广泛用于集成电路和印刷电路板制造、印刷制版等领域。光加工用高分子材料指在光作用下材料物性或外形发生变化,以实现对被照材料本身或者被其覆盖材料加工处理的聚合材料。在这类材料中最重要的是在集成电路、激光照排制版和印刷电路制备中使用的光刻胶。根据光与聚合物之间发生的作用机理不同,可以分成光聚合或光交联型光刻胶,也称为负性光刻胶;光分解型光刻胶,也称为正性光刻胶。除了光刻胶之外,光敏涂料,光敏胶等在广义上也属于光加工高分子材料。采用激光引发聚合直接将聚合物零件加工成型的方法也引起工业界的广泛关注,成为结构复杂高分子零部件光加工用高分子材料中的重要成员,其特点是摆脱了模具束缚,可以完全由计算机设计、控制加工。

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参考词条