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1)  microcantilever detector
微悬臂梁红外探测器
2)  Techno logy of micromachining
微悬臂梁探针
3)  micro cantilever transducer
微悬臂梁换能器
4)  microcantilever
微悬臂梁
1.
Amplifying of the quality factor of AFM microcantilevers in liquid environment;
提高液体中AFM微悬臂梁品质因数的研究
2.
Microcantilever-based Sensors and Their Chemical and Biological Applications;
微悬臂梁传感器及其在生化领域的应用
3.
Ultra-small mass detection based on a higher harmonics microcantilever in liquid;
基于微悬臂梁高次谐波的微小质量检测技术研究
5)  Micro cantilever
微悬臂梁
1.
Progress on micro cantilever resonant gas sensors;
微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展
2.
The mechanicalcharacteristics of micro cantilever are highlighted in the process of study andapplication.
微悬臂梁结构在微观领域有着广泛的应用,而微悬臂梁结构的机械特性又是研发和使用过程最为关心的参数之一。
6)  micromechanical cantilever
微悬臂梁
1.
Si/SiO 2 double-l a yer micromechanical cantilever resonato rs with electric-thermal excitation are fabricated by microelectronic and microm echincal technologies.
制作了电热激励硅 /二氧化硅双层微悬臂梁谐振器。
补充资料:多元红外探测器
      由多个单元红外探测器按一定规则排列而成的线列或面阵器件,有时也称为多元阵列器件。多元探测器可由光电导探测器或光伏探测器组成,也可以由热释电型探测器组成,主要用于红外成像系统。利用光刻、离子蚀刻等半导体工艺技术,可在组分均匀、结构完整的单片半导体材料上制成一维线列或二维面阵,或以其他几何方式排列的多元探测器。也可以用镶嵌的方式制成多元探测器。常用的多元探测器的形状有6×8二维面阵、20元竖线列阵和16元横线列阵。采用多元探测器的优点是:①提高成像系统的信噪比。如采用n元探测器线列器件实行并扫,则成像系统的信噪比可比使用单元探测器提高倍;②降低对探测器性能的要求。由于探测器元数增加而扫描一幅图像的时间不变,像元在每个敏感元上的滞留时间可增加到单元器件的n倍,从而使一些响应时间较长的探测器能得到应用;③降低成像系统的扫描速度,简化扫描机构。当多元面阵器件的元数与像元数相等时(即"凝视"器件),成像系统可免去机械扫描机构。
  

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