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1)  Proximity Aligners
近式光刻机
2)  Proximity aligner
接近式光刻机
3)  Proximity Deep Stepper
接近式深度光刻机
1.
An Investigation on Diffraction between Mask and Wafer of Proximity Deep Stepper;
接近式深度光刻机掩模-硅片间的衍射研究
4)  proximity lithography
接近式光刻
1.
Computer simulation of diffraction intensity in proximity lithography;
接近式光刻衍射光场的快速计算机模拟
2.
The light density on the wafer mainly depends on the diffraction produced by the gap between the mask and the wafer in proximity lithography.
在接近式光刻中,衬底上的光强分布主要是受掩模与衬底间的间隙引起的衍射影响。
5)  proximity UV-lithography
接近式紫外光刻
1.
Theoretical Analysis and Pre-compensation Simulation of Pattern Distortion in Proximity UV-lithography;
接近式紫外光刻中图形失真的分析与预修正仿真
2.
To give an error analysis of this effect,the propagation of partial coherent light in the proximity UV-lithography was investigated and the relative theoretical model was proposed.
为此,研究了接近式紫外光刻中部分相干光的传播过程,建立了相应的光刻理论模型,对光刻成像中的误差产生机理进行分析。
3.
The light source of proximity uv-lithography is extended incoherent quasi-monochronmatic.
基于Hopkins公式,研究了接近式紫外光刻中扩展准单色光源经柯勒照明系统传播到掩模表面上任两点的复相干度,并建立相应的基于部分相干光理论的光刻模型。
6)  near field photolithography
近场光刻
1.
Super RENS technology has been applied in super high density optical data storage, near field photolithography, nanome.
具有多层纳米薄膜结构的超分辨近场结构 (Super RENS)的提出改变了这种局面 ,并在诸如超高密度光学数据存储、近场光刻技术、纳米光子学晶体管等领域获得了重要的应用。
补充资料:液压式硫化机与机械式硫化机的比较

我国的液压硫化机开发工作始于60年代未期,起步时间不比工业发达国家慢,但是当时国内的液压技术水平限制了液压硫化机的发展。近年来,随着国内技术的发展和国外技术进入中国,我国液压硫化机的开发和应用都进入了一个高速发展期,现在已经开发出了1050~1700 规格的液压硫化机,并实现了液压硫化机向法国米其林公司的批量出口。但是总的来说,液压硫化机目前在国内的应用还是不太广泛,那么液压式硫化机与机械式硫化机的差异主要体现在那些方面呢?


  由于机械式硫化机本身结构的原因,机械式硫化机存在如下问题:
  1、上下热板的平行度、同轴度,机械手卡爪圆度和对下热板内孔的同轴度等精度等级低,特别是重复精度低;


  2、连杆、曲柄齿轮等主要受力件上的运动副,是由铜套组成的滑动轴承,易磨损,对精度影响较大;


  3、上下模受到的合模力不均匀,对双模轮胎定型硫化机而言,两侧受力,大于两内侧的受力;


  合模力是曲柄销到达下死点瞬间由各受力构件弹性变形量所决定的,而温度变化使受力构件尺寸发生变化,合模力也随之发生变化,因此生产过程中温度的波动将造成合模力的波动。


液压式硫化机结构上具有如下特点:


  1、机体为固定的框架式,结构紧凑,刚性良好,在大合模力作用下变形小,有利于轮胎寿命和轮胎质量。虽然液压式硫化机也是双模腔,但从受力角度看,只是两台单模硫化机连结在一起,在合模力作用下,机架微小变形是以模具中心线对称的;


  2、各动作快速平稳,大大减少了硫化机辅助时间;


  3、机器精度高,大大提高轮胎定型精度。开合模时,上模部分仅作垂直上下运动,可保持很高的对中精度和重复精度;另一方面,对保持活络模的精度也较为有利;


  4、上下合模力受力均匀,不受工作温度影响;


  5、装胎机构和中心机构上环的高度可随意准确控制,对于硫化不同规格轮胎很有意义;


  6、机器的左右机架可以各配一套控制系统,可进行单独控制,独立工作;


  7、机器各动作简单有效,在用户使用过程中,基本上没有易损件,备件需要更换,也不需要机械式硫化机那样定期中修、大修,大大减少了用户运行成本,增加了设备使用率。
 

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