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1)  Al lines
Al连线
1.
With the silicon anisotropic etching in the field of fabricating microelectro-mechanical system(MEMS) devices, the Al lines would be etched and the MEMS devices would be failed.
微电子机械系统 ( MEMS)器件制造过程中的各向异性腐蚀工序 ,会引起硅片正面的 Al连线被腐蚀 ,造成器件的失效。
2)  Al interconnect
Al互连线
1.
In order to study the failure of IC devices induced by the stress in VLSI metal interconnect, In-situ observation of the stress changes of VLSI Al interconnect was studied under the electromigration and thermal conditions by using a synchrotron radiation x-ray diffraction technique.
为研究VLSI金属互连线的应力导致IC器件失效的问题,采用同步辐射源X射线衍射技术,原位测试了VLSI中Al互连线在电迁徙及加热条件下的应力变化。
3)  Al/Cu interconnects
Al/Cu互连线
4)  Al-O-Al linkage
Al-O-Al相连
5)  Al interconnection
Al互连
6)  Feeding Aluminium Wire
喂Al线
补充资料:连线

连线:是指连接上述国内外众多收发货节点的运输连线,如各种海运航线、铁路线、飞机航线以及海、陆、空联合运输线路。

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