1) silicon micro resonant sensor
硅微谐振式传感器
1.
Considering the particularity of measuring frequency characteristics of silicon micro resonant sensors,a novel dynamic method for measuring frequency characteristics is presented,which utilizes the chirp signal as the excitation signal,chirp Z transform (CZT) as one of the analyzing tools.
针对硅微谐振式传感器频率特性 (谐振频率和品质因数 )测量的特殊性 ,提出了以线性调频信号为激励信号、线性调频Z变换 (CZT)为频谱分析工具的系统频率特性的动态测试方法 ,使得该系统能够高效、精确地测量机械式谐振传感器的频率特性。
2) silicon resonant micro-sensor
硅谐振微传感器
1.
In the application of small sensor and micro-sensor,especially the silicon resonant micro-sensor,the weak signal detection with low Signal Noise Ratio(SNR),the miniaturization and the anti-jamming problems of the closed loop system are quite outstanding.
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。
3) Silicon-micro-resonant sensor
硅微谐振传感器
4) silicon micromachine resonant sensors
硅微机械谐振传感器
5) silicon resonant sensor
单晶硅谐振式传感器(仪)
6) resonant microaccelerometer
谐振式微加速度传感器
1.
FEA(finite element analysis) is used to evaluate a novel designed resonant microaccelerometer.
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn。
补充资料：谐振式传感器
利用谐振元件把被测参量转换为频率信号的传感器，又称频率式传感器。当被测参量发生变化时，振动元件的固有振动频率随之改变,通过相应的测量电路,就可得到与被测参量成一定关系的电信号。70年代以来谐振式传感器在电子技术、测试技术、计算技术和半导体集成电路技术的基础上迅速发展起来。其优点是体积小、重量轻、结构紧凑、分辨率高、精度高以及便于数据传输、处理和存储等。按谐振元件的不同，谐振式传感器可分为振弦式、振筒式、振梁式、振膜式和压电谐振式等(见振弦式传感器、振筒式传感器、振梁式传感器、振膜式传感器、石英晶体谐振式传感器)。谐振式传感器主要用于测量压力，也用于测量转矩、密度、加速度和温度等。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条