2) silicon micromachined accelerometer
硅微机械加速度传感器
1.
This paper presents a novel silicon micromachined accelerometer with sidewall-diffusion-pizeoresistors.
给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法。
2.
The present work summarizes the structure and dynamic model of a high g shock Silicon micromachined accelerometer.
给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。
3) silicon micromachined shock accelerometer
冲击硅微机械加速度传感器
1.
This paper presents one package structure of silicon micromachined shock accelerometer and analyzes its performance.
给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的器件封装结构并对其封装的性能进行了分析。
4) micromachined accelerometer
微机电加速度传感器
1.
Having simple structure and high sensitivity , micromachined accelerometer is a type of popular transducer used to measure the acceleration in a great variety of conditions .
微机电加速度传感器具有结构简单、灵敏度高等特点，因此被广泛应用于各种环境下加速度的测量。
2.
A micromachined accelerometer with piezoelectric thin film based on the piezoelectric effect is studied.
基于压电薄膜的压电效应,研究压电薄膜微机电加速度传感器。
5) microaccelerometer
微加速度传感器
1.
Progress in multi-axis microaccelerometer;
多轴微加速度传感器的进展
2.
Design and fabrication of novel silicon based microaccelerometer;
新型硅微加速度传感器的设计与制作
3.
Effect of fabrication characteristic of 2-D microaccelerometer on performance;
工艺特性对二维微加速度传感器性能的影响
6) acceleration microsensor
加速度微传感器
1.
This paper chiefly describes the structure, operational principle of several typical resonant acceleration microsensors and microgyroscopes, and analyzes their application features.
对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点。
补充资料：加速度传感器
加速度传感器
acceleration transducer
i廊川u chual勺anqi加速度传感器(accele耐ontr田lsducer)输出t与输人加速度成正比的测振传感器，也称加速度计。压电式和压阻式加速度传感器一般用于结构部件上的振动和冲击测量，允许误差均为1%一5%。应变式加速度传感器一般用于弯曲模态结构振动测量，允乙计式许误差为0.5%一2%。力平衡(伺服)式和电仁振动、加速度传感器通常用于大型结构件或建筑物的毛差为地展及环境振动测量，其中力平衡式的允许愁彦)0.1%一1%，电位计式的为1%一3%。(施昌
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条