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1)  large diameter silicon wafers
大直径硅晶片
1.
We discuss the giant challenges that material physics faces regarding the structure of CMOS devices, contact resistance, and large diameter silicon wafers when CMOS technology reaches below 100nm.
随着CMOS技术缩至 10 0nm或更小 ,在CMOS器件结构、接触电阻以及大直径硅晶片等方面均遇到一些材料物理的巨大挑战 。
2)  large diameter silicon
大直径硅片
1.
Research on large diameter silicon surface grinding using ultrasonic float polishing;
超高精度大直径硅片表面超声浮动抛光
3)  large diameter silicon monocrystal
大直径硅单晶
1.
A comprehensive review was made with regard to the current research situation in studying the crystal growth, impurity behavior, defect control and surface quality of large diameter silicon monocrystal, as well silicon based materials.
本文叙述了大直径硅单晶生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状,讨论了应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合的发展趋势,展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的技术经济前景。
4)  major diameter crystal
大直径单晶
1.
The innovative methods for the vacuum stabilized and the gas flow optimized in major diameter crystal growing;
大直径单晶生长中稳定真空度和优化气流控制的改进措施
5)  300mm Si single crystal
直径300mm硅单晶
6)  large size Al_2O_3 single crystal
大直径Al2O3晶体
补充资料:大直径区熔硅单晶


大直径区熔硅单晶


  ………蘸绷
  
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