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1)  Y-ZrO_2 film
Y-ZrO_2薄膜
2)  zirconia films
ZrO_2薄膜
1.
The results show that deposition rates of zirconia films decrease and film surface roughness increases approximately linearly with the increase of oxygen partial pressure.
采用反应射频(RF)磁控溅射法在n型(100)单晶Si基片上沉积了ZrO_2薄膜,研究了氧分压与ZrO_2薄膜的表面粗糙度和沉积速率、SiO_2中间界层的厚度以及ZrO_2薄膜的折射率之间关系。
3)  ZrO2(Y2O3) thin film
ZrO_2(Y_2O_3)薄膜
4)  ZrO_2-base film
ZrO_2基薄膜
5)  ZrO_2-12wt% Y_2O_3 films
ZrO_2-12wt%Y_2O_3薄膜
6)  Y-dopped PZT(40/60) thin films
Y-PZT薄膜
补充资料:Baddeleyite(ZrO2)
CAS:12036-23-6
分子式:ZrO2
分子质量:123.22
中文名称:斜锆石
英文名称:baddeleyite;Baddeleyite(ZrO2);caldasite
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参考词条