1) SESPI
错位电子散斑干涉仪
1.
This technic has been used in the instrument of IC wafer Stress Analyzer and Shear Electronic Speckle Pattern Interferometry(SESPI).
最后将错位相移器应用于集成电路硅片薄膜应力分布测试仪及错位电子散斑干涉仪之中。
3) Speckle shearing interferometry
散斑错位干涉
4) Speckle-shearing interferometry
散斑错位干涉术
5) speckle-shearing interferometry
错位散斑干涉法
6) electric speckle shearography pattern interferometry
剪切电子散斑干涉仪
补充资料:单光束散斑干涉法
见散斑干涉法。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条