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1)  starting position error
扫描起点误差
1.
Scanner errors include pixel interval error,horizontal-to-vertical proportion error and starting position error.
扫描仪误差包括像素间距误差、像素间距横纵比误差及扫描起点误差等。
2)  scanning error
扫描误差
1.
01% of the scanningrange and the scanning error can be less than 0.
本文提出的直接测量方法,可以对未知结构的大相对孔径物镜的扫描误差实现高精度测量,测量灵敏度可达最大扫描范围的0。
3)  scanner error
扫描仪误差
4)  Nonlinear scanning error
非线性扫描误差
5)  the error of initial point
起算点误差
6)  Finite Scanning Truncation Error
有限扫描面截断误差
补充资料:扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)


扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)
scanning eleetron mieroseoPe

扫描电子显微镜scanning eleetron mieroseope见扫描电子显微术。
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