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1)  maskless etching
无掩膜腐蚀
2)  maskless etch
无掩模腐蚀
3)  dynamic etch mask
动态掩膜腐蚀
1.
The etch rate and surface morphology of Al x Ga 1-x As( x =0 3,0 5,0 65) versus composition of CrO 3/HF solutions are studied by using the dynamic etch mask technique.
利用动态掩膜腐蚀技术 ,研究了 HF/ Cr O3腐蚀液对各种不同组分的 Alx Ga1 - x As(x =0 。
4)  etching mask
腐蚀掩模
5)  Si three dimensional maskless etching technology
硅三维结构的无掩模腐蚀技术
1.
The first developed technologies, including the self aligned quasi three dimensional fabrication technology, Si three dimensional maskless etching technology and Si/Si low temperature direct bonding technology were mainly.
本文总结了三个单位为时数年在微机械技术方面的研究成果,重点介绍我们首创的三项技术,即自对准的准三维加工技术,硅三维结构的无掩模腐蚀技术和硅/硅低温直接键合技术,也提到我们开展过的其他几项微机械技术以及所制作的几种微机械器件的参数或结果。
6)  underfilm corrosion
膜下腐蚀
补充资料:耐腐蚀膜
分子式:
CAS号:

性质:金属在介质中发生化学或电化学作用,在其表面上生成一层薄的氧化物或盐类。一般有钝化膜、阳极氧化膜、化学转化膜和高温氧化膜,相当程度地阻止同一介质或另外一些介质的腐蚀。钝化膜是金属在介质中由化学钝化或电化学钝化生成的膜,耐蚀性很好,可降低金属腐蚀速率1~5个数量级。阳极氧化膜是指金属在较高阳极电位下生成的膜,如铝和铝合金在硫酸、草酸或铬酸溶液中阳极氧化生成的表面膜。化学转化膜是指金属在一种或数种化学介质中经过适当的化学处理后,在表面上生成的本金属或另外一些金属的化合物膜。高温氧化膜是金属材料或涂层在含氧介质中,在高温下形成的表面氧化膜。

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参考词条