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1)  the function for optimum thickness
最佳膜厚方程
2)  optimum film thickness
最佳膜厚
1.
The relation between the ratio of impurity in powder and in film,the range of deposition impurity x% for optimum sensitivity with film thickness,the optimum film thickness l* for some thin film,and the rule for response time varies with film thickness were given.
利用反溅,发展了粉末溅射工艺;指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性;给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果;给出了SnO2(100-x)/CeO2(x)最佳灵敏度的掺杂x%的范围;给出了灵