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1)  membrane micro machine
薄膜微机械
2)  micromechanical membrane
微机械薄膜
3)  Micromechanical silicon membranes
硅微机械薄膜
4)  Micromachined membrane deformable mirror
微机械薄膜变形镜
1.
An close-loop real-time algorithm of improvement singular value decomposition(SVD) modal reconstruction of wavefront was introduced in order to solve the optimal control voltages of adaptive optics based on the micromachined membrane deformable mirror(MMDM) and reduce the incident wavefront aberration to the minimum.
为了求解基于微机械薄膜变形镜自适应光学系统的最优模式控制电压,以使系统的入射畸变波前像差降到最小,采用了一种基于改进的奇异值分解闭环实时模式复原算法,可通过调整控制参量g1,gθ和W来优化波前复原的复原精度和收敛速度;采用一人眼出射畸变波前像差作为自适应光学系统的原始波前,与现有的几种实时模式复原算法相对比,其在收敛速度和复原精度上都有所改善。
5)  micromachined polysilicon thin film resistor
微机械多晶硅薄膜电阻
6)  MEMS membrane switches
微机械膜开关
补充资料:薄膜包装机械
薄膜包装机械
 
文章编辑:moji
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