1) Helicon Plasma Reactor
螺旋波等离子体反应器
2) helicon wave plasma
螺旋波等离子体
1.
In this work,we deposited ZnO epitaxial films on Al_2O_(3)(0001) substrates using the helicon wave plasma assistant sputtering technique at different substrate temperatures.
采用螺旋波等离子体辅助射频溅射沉积技术在A l2O3(0001)衬底上沉积ZnO外延薄膜,通过对其结构及光学性质的分析,探讨了衬底温度对薄膜生长特性的影响。
2.
The samples were prepared by helicon wave plasma chemical vapor deposition technique.
所用样品采用螺旋波等离子体化学气相沉积技术制备,利用Raman散射、红外吸收和光学吸收技术对薄膜的微观结构、氢的键合特征以及能带结构特性进行了分析。
3.
Hydrogenated amorphous silicon nitride films (SiN) are deposited by helicon wave plasma enhanced chemical vapor deposition (HWP-CVD) with a gas mixture of SiH 4 and N 2.
采用螺旋波等离子体增强化学气相沉积 (HWP -CVD)技术以SiH4 和N2 为反应气体沉积了氮化硅 (SiN)薄膜 ,利用傅里叶红外吸收谱 (FTIR)、紫外 -可见透射谱 (UV -VIS)等对薄膜的键合结构、光学带隙等参量进行了测量与分析 。
3) Helicon plasma
螺旋波等离子体
1.
Helicon plasma is a kind of high density,low temperature plasma in low pressure.
螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。
4) ECR(electron cyclotron resonance) plasma
电子回旋共振微波反应等离子体
5) plasma reactor
等离子体反应器
1.
Scale-up experiment of plasma reactors with different electrode structure;
不同电极结构等离子体反应器的放大试验研究
2.
Modification of plasma reactor and matching with pulse power;
等离子体反应器的改进及其与脉冲电源间的匹配
3.
The application of nonthermal ferroelectric plasma reactor in decomposition of odorous gases,such as ammonia,hydrogen sulfide and methyl mercaptan was investigated.
对非热强介质等离子体反应器用于臭味气体———氨、硫化氢、甲基硫醇的分解进行了试验研究。
6) DBD plasma reactor
DBD等离子体反应器
补充资料：等离子体波
| 等离子体波 plasma，waves in 等离子体中粒子的各种集体运动模式。 在等离子体中，热压强、静电力和磁力起着准弹性恢复力的作用，导致声波、各种模式的静电波（纵波）、电磁波（横波）以及它们的混杂波。又由于电子与离子的质量相差悬殊，对电磁场的响应不同，再加上等离子体的分布空间不均匀、速度空间的不均匀以及各向异性等因素，使各等离子体中波动的模式极其复杂多样。 等离子体中许多现象与过程的机制都与其中的波和不稳定性有关；等离子体波又是一种诊断手段，可用以探测等离子体的各种参数；高强度的波还可用于等离子体的加热、电流驱动等；电磁波在电离层中传播和反射的知识对保证和改善无线电通讯的质量至关重要，等等。这些都使得等离子体波的研究成为等离子体物理中的重要组成部分。 在等离子体中如果产生了局部的电荷分离，则在库仑力作用下将引起静电振荡（见等离子体频率）。一定的温度赋予电子热压强，使振荡得以在等离子体内部传播形成静电纵波，称为朗缪尔波。 等离子体中可以传播电磁波，但有一个截止频率，低于此频率的电磁波被全反射，不能进入等离子体。 与中性气体中的声波相仿，在等离子体中的离子声波也是以热压强为恢复力的，但因电子与离子的热速度不同，微小的电荷分离会引起静电场，使电子与离子的运动耦合起来，一起振荡，形成离子声波。 有磁场时等离子体是各向异性的，其中的波动模式要复杂得多 。 对于理想导电的流体，磁力线会“冻结”于其上，像一根根绷紧的弹性弦，横向的扰动可以沿磁力线传播，形成剪切阿尔文波。在磁流体中除热压强外，磁场也会产生侧向的压力称为磁压，在这两种压力作用下形成的波动模式称为磁声波，有快、慢之分。 此外还有离子和电子的回旋波，以及哨声波（其高频部分的群速比低频部分大，听到的音调先高后低，宛如哨音，故名）等等。 等离子体波的线性理论已经比较系统完整。等离子体中还存在着丰富多样的非线性波 。 如各种大幅度波、冲击波、孤立波等，以及波与波、波与粒子间的非线性相互作用，有关的研究方兴未艾。 |
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参考词条