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1)  ZrO_2 thin films
二氧化锆薄膜
1.
In this paper,ZrO_2 thin films were deposited by electron beam evaporation,surface roughness of which were measured with Taylor Honson coherence correlation interferometer (Talysurf CCI).
本文采用电子束蒸发工艺, 利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪,研究了不同基底粗糙度、不同二氧化锆薄膜厚度以及不同的离子束辅助能量下所沉积的二氧化锆薄膜的表面粗糙度。
2)  ZrO_2 film
氧化锆薄膜
1.
Characters of ZrO_2 films deposited by electron beam evaporation at different oxygen partial pressure;
不同氧分压下电子束蒸发氧化锆薄膜的特性
3)  nano ZrO2 film
纳米氧化锆薄膜
4)  Y_2O_3-doped ZrO_2 film
掺钇氧化锆薄膜
5)  Zirconium oxide film
氧化锆(ZrO2)薄膜
6)  alumina-zirconia ceramic film
氧化铝-氧化锆陶瓷薄膜
补充资料:二氧化锆
      化学式ZrO2。存在于天然的二氧化锆矿中。二氧化锆为白色晶体;熔点约 2700℃,沸点约 5000℃,密度5.89克/厘米3。由灼烧二氧化锆水合物或挥发性含氧酸锆盐所得的二氧化锆为白色粉末,不溶于水;经由轻度灼烧所得的二氧化锆,比较容易被无机酸溶解;强热灼烧所得的二氧化锆只溶于浓硫酸和氢氟酸;经过熔融重结晶的二氧化锆只与氢氟酸作用。二氧化锆是一种两性氧化物,与碱共熔可形成锆酸盐,但锆酸盐遇水容易水解为ZrO2·xH2O而沉淀。二氧化锆在加热时发出强烈的白光,曾用作灯丝和汽油灯的网罩。熔融后的二氧化锆很硬,热膨胀系数很小,用它制作的搪瓷不会因温度骤变而破裂。二氧化锆还可做高温坩埚、耐火器皿和炉衬。掺有氧化镁的二氧化锆可用于制造高温玻璃。
  

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