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1)  high purity methane
高纯甲烷
2)  trifluoromethane
高纯三氟甲烷
3)  high-purity hexamethyldisilane
高纯六甲基二硅烷
4)  high purity propane
高纯丙烷
1.
According to the characteristic of propane material ,the high purity propane (≥99.
根据丙烷原料特点,采用吸附、催化加氢和精馏相结合的方法,研制出纯度≥99 995%的高纯丙烷,满足了微电子工业对高纯丙烷的质量要求。
5)  high purity ethane
高纯乙烷
6)  high purity butane
高纯丁烷
补充资料:高纯甲烷
分子式:CH4 
CAS号:

性质:纯度99.99%。别名沼气。无色、无臭、无味的可燃气体,溶于乙醇和乙醚,微溶于水。是简单的窒息剂。相对密度ds(15.6℃,空气=1)0.5549。气体密度0.6784kg/m3(15.6℃,101.3kPa);液体密度425.61kg/m3(-161.49℃)。沸点-161.49℃。熔点-182.61℃。有二级精馏法;吸附-膨胀脱附法;吸附-间歇精馏法三种制法。纯甲烷用于计数管充填气,金属表面渗碳和碳膜淀积,标准气、校正气、催化剂的评价气。最近用作大规模集成电路干法刻蚀或等离子刻蚀气的辅助添加气及非晶硅太阳能电池生产。高纯甲烷燃烧用于制造特种质量电子器件用的炭黑。

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参考词条