1) electronic grade phosphorus trifluoride
电子级三氟化磷
2) electronic grade phosphorus pentafluoride
电子级五氟化磷
3) electronic grade nitrogen trifluoride
电子级三氟化氮
4) electronic grade arsenic trifluoride
电子级三氟化砷
5) electronic grade phosphorus trichloride
电子级三氯化磷
6) electronic grade trifluoromethane
电子级三氟甲烷
补充资料：电子级三氟化磷
分子式：PF3
CAS号：
性质：常温下为无色、不可燃气体，遇湿气会分解，与水及碱溶液迅速反应，可与血液中的血红蛋白生成化合物，毒性极大。TLV1×l0-6。气体密度3.907kg/m3。沸点-101.1℃。熔点-151.5℃。其制法是采用三氯化磷与氟化氢反应，反应产物经冷却回流收集，进一步进行真空蒸馏，可制得高纯产品。三氟化磷在微电子工业中作为n型掺杂剂。
CAS号：
性质：常温下为无色、不可燃气体，遇湿气会分解，与水及碱溶液迅速反应，可与血液中的血红蛋白生成化合物，毒性极大。TLV1×l0-6。气体密度3.907kg/m3。沸点-101.1℃。熔点-151.5℃。其制法是采用三氯化磷与氟化氢反应，反应产物经冷却回流收集，进一步进行真空蒸馏，可制得高纯产品。三氟化磷在微电子工业中作为n型掺杂剂。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条