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1)  vertical epitaxial furnace
立式外延炉
2)  horizontal epitaxial furnace
卧式外延炉
3)  cylinder epitaxial furnace
桶式外延炉
4)  Single wafer epi equipment
单片式外延炉
5)  vapour deposition furnace
气相外延炉
6)  epitaxial reactor
外延生长炉
补充资料:带钢立式退火炉(上海宝山钢铁总厂)


带钢立式退火炉(上海宝山钢铁总厂)


带钢连续退火机组(上海宝山钢铁总厂)澎
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