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1)  acid hardening resists
酸硬化光刻胶
2)  photoresist ashing
光刻胶灰化
1.
In addition to the general process, the photoresist ashing technique is developed for achieving good quality gratings.
本文引入反应离子刻蚀进行光刻胶灰化处理新技术 ,成功地制作了每毫米 1 2 0 0线、闪耀波长为 1 30nm的锯齿槽形光栅 。
3)  cinnamate photoresist
肉桂酸酯光刻胶
4)  Photoresist@P1ashing technique
光刻胶灰化工艺
5)  halide photoresist
卤化物光刻胶
6)  diazido-cyclized rubber photoresist
双叠氮-环化橡胶光刻胶
补充资料:聚乙烯醇-肉桂酸酯光刻胶
分子式:
CAS号:

性质:是指以聚乙烯醇和肉桂酰氯为原料,通过酯化反应制成聚乙烯醇肉桂酸酯。光照下,聚乙烯醇肉桂酸酯可以发生交联反应。利用它的这种性质,1959年美国开始将聚乙烯醇肉桂的酸酯用于制造印刷线路版上,作为很好的光刻胶来使用。聚乙烯醇肉桂酸酯作为光刻胶使用时,一般还要加入少量的增感剂来提高感度。

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