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1)  tantalum thin-film circuit
钽薄膜电路
2)  tantalum-film circuit
钽膜电路
3)  tantalum-film circuitry
钽膜电路学
4)  tantalum nitride resistance film
氮化钽电阻薄膜
5)  tantalum silicon resistance film
钽硅电阻薄膜
6)  tantalum dielectric film
钽基介电薄膜
补充资料:氮化钽电阻薄膜
分子式:
CAS号:

性质:一种钽基中低阻薄膜。主成分为氮化钽。具有熔点高(3090℃)、电阻温度系数小和稳定性高的特点。电阻率180~220μΩ/cm,方阻50~100Ω,TCR<-50×10-6/℃。采用溅射法工艺制备。用于制作中低阻薄膜元件。

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