1) diffusion under the epitaxial film
外延膜下扩散
2) DUF
在外延膜下扩散
3) diffusion under epitaxial layer
外延层下的扩散
5) epitaxial diffused method
外延扩散法
6) subepitaxial diffusion
亚外延扩散
补充资料：扩散膜分离效率
分子式：
CAS号：
性质：同位素混合物通过扩散分离膜时，在不变的出口丰度下，膜的实际浓缩与理想浓缩的比值。 Z=(C+-C0)/(C+-C0*) C+为膜的出口丰度，C0为实际膜前丰度，C0*为理想膜前丰度。膜的分离效率Z总是小于1。原因是:(1)膜后向膜前的反扩散；(2)由于轻重分子相互碰撞而拉平两种分子平均速度差异的动量迁移效应；(3)部分孔隙中的黏滞流；(4)吸附迁移效应。
CAS号：
性质：同位素混合物通过扩散分离膜时，在不变的出口丰度下，膜的实际浓缩与理想浓缩的比值。 Z=(C+-C0)/(C+-C0*) C+为膜的出口丰度，C0为实际膜前丰度，C0*为理想膜前丰度。膜的分离效率Z总是小于1。原因是:(1)膜后向膜前的反扩散；(2)由于轻重分子相互碰撞而拉平两种分子平均速度差异的动量迁移效应；(3)部分孔隙中的黏滞流；(4)吸附迁移效应。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条