1) scanning projection printing
扫描式投影曝光
2) scanning projection aligner
扫描型投影对准曝光器
3) Scan projection mask alignment system
扫描投影式光刻机
4) step and scan projection aligner
步进扫描投影对准曝光器
5) scan exposure
扫描曝光
1.
By establishing an abstract scan exposure model and analyzing the pulse to pulse energy fluctuation characteristics of DUV excimer lasers,a real-time dose regulation is implemented based on closed loop feed back control,which especially focuses on reducing the pulse energy overshot and the pulse to pulse stochastic fluctuation.
通过建立扫描曝光过程的抽象模型并分析准分子激光器单脉冲能量波动特性,提出采用闭环反馈控制进行实时调节,着重研究了抑制单脉冲能量超调和随机波动的有效算法。
补充资料：开放式磁共振扫描机
开放式磁共振扫描机
磁共振成像设备类型之一。传统的磁共振成像设备采用圆筒式封闭型磁体，水平磁场。开放式磁共振成像设备则采用C-臂形、桥架形、塔柱形等设计，使磁体的三面或四面是开放的。此类设备采用的是垂
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参考词条