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1)  wafer to mask gap
薄片 掩模间隙
2)  pellicle reticle
薄膜中间掩模
3)  wafer spacing
薄片间距
4)  cast thin section
铸模薄片
5)  thin section porosity
薄片孔隙度
6)  shim [英][ʃim]  [美][ʃɪm]
薄垫片;填隙片
补充资料:铸模
1.铸件模型的统称。
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参考词条