1) baseplane
['beisplein]
基准面底板
2) ground reference plane
底部基准平面
3) floor board
底板面板
4) base plate
基板，底板
5) bottom side alignment
底面对准
1.
Design of bottom side alignment of lithography;
底面对准曝光机对准系统设计
2.
The fundamental principle of lithography equipment bottom side alignment(BSA) system was introduced.
介绍了光刻机底面对准系统的基本原理,并分析了传统底面对准系统存在的缺点,给出了基于USB2。
3.
The principle of bottom side alignment,the stage structure and the selection of the shape and size of the alignment mark are discussed.
主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工件台结构以及对准标记的形式和尺寸的选
6) bracket area
底板面积
补充资料：底部
底部——
股价长期趋势线的最低部分。
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参考词条