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1)  plasma quantometer
等离子体光量计
2)  ICP quantometer
电感耦合等离子体光量计
3)  inductively coupled plasma quantometer
感应耦合等离子体光量计
4)  Plasma Photonics Crystal
等离子光子晶体
5)  quantum plasmas
量子等离子体
6)  Plasma polishing
等离子体抛光
1.
Plasma polishing on designed plasma technology stage,the parameters that affect the etching results were studied by experiment,the optimal technological parameters were obtained.
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光。
补充资料:电感耦合等离子体光量计
      一种以等离子体光源作为激发源的多元素光谱分析仪(见图)。等离子体光源有直流等离子光源,电感耦合等离子体光源,电容耦合等离子体光源。仪器由等离子发生器、雾化室、炬管、分光计、光电检测系统组成。操作程序,背景校正,数据处理和打印结果都由计算机控制。其工作原理是:由高频发生器(一般为27.12兆赫)提供的高频能量叠加到炬管外面的线圈上,线圈内通水冷却,立于线圈当中的同轴型三层石英管,分别通入不同量的氩气,称为冷却气流,辅助气流和进样气流。点火后炬管端就出现一个氩等离子体焰,最高温度达10000K。试样在高温下被激发而辐射出光, 经分光计按一定波长次序分散, 取得一系列线光谱,通过焦平面上安装的出射狭缝,由光电检测系统接收,将光谱强度与标准相比较,转换为元素的含量。其优点是:分析速度快,干扰少,能同时测定几十种元素,精密度好,测定下限低(一般为μg/m1或更低),线性范围宽等特点。在地质学中用于测定岩石、矿石、矿物和地下水中常量、微量、痕量的金属元素。
  

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