1) vacuum ionization sensor
真空电离传感器
2) thermal vacuum sensor
电阻真空传感器
1.
Constant temperature thermal vacuum sensor based on micro-hotplate;
恒温式微热板电阻真空传感器
2.
In this paper,a monolithic thermal vacuum sensor based on a micro-hotplate(MHP)and operating under constant bias voltage conditions was designed.
设计了一种工作在恒电压模式的、微热板结构的单片集成电阻真空传感器芯片。
3) Vacuum Sensor
真空传感器
1.
Vacuum Sensor Based on Micro-Hotplate and Its Monolithic Integrating Technology;
微热板真空传感器及其单芯片集成技术的研究
2.
A silicon-based thermopile vacuum sensor was designed and fabricated.
2μm标准CMOS生产流水线上进行流片的硅基热电堆真空传感器的制造技术与流程。
4) resistance vacuum sensor
电阻式真空传感器
5) ionization transducer
电离传感器
6) Resonant vacuum sensor
谐振真空传感器
补充资料：电阻式传感器
把位移、力、压力、加速度、扭矩等非电物理量转换为电阻值变化的传感器。它主要包括电阻应变式传感器、电位器式传感器(见位移传感器)和锰铜压阻传感器等。电阻式传感器与相应的测量电路组成的测力、测压、称重、测位移、加速度、扭矩等测量仪表是冶金、电力、交通、石化、商业、生物医学和国防等部门进行自动称重、过程检测和实现生产过程自动化不可缺少的工具之一。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条