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1)  scan positional distortion
扫描定位畸变
2)  scan (sweep) positional distortion
扫描位置畸变
3)  scan distortion
扫描畸变
1.
This article introduces the reason why there s existing the distortions of the micro align models and explains what is cross distortion and scan distortion 340 and how to match the different "340".
叙述了340光刻机发生畸变的原因,并解释了什么是交叉畸变,什么是扫描畸变,并对如何进行两台340光刻机的匹配进行了探讨。
4)  distortion of e-beam field
扫描场畸变
1.
The paper summarizes how many kinds of distortion of e-beam field, exhibits the project and the flow chart of automatic-correction program about the linear distorti-on.
本文通过对扫描电子束曝光机标记信号检测及对准技术的分析,提出了背散射检测电路的设计方案和电路原理图,给出了实验结果;总结了电子束扫描场畸变的种类,给出了线性畸变的自动校正软件的设计方案和流程图;介绍了非线性畸变校正的方法。
5)  Scan orientation
扫描定位
6)  line scanning waveform distortion
行扫描波形畸变
补充资料:扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)


扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)
scanning eleetron mieroseoPe

扫描电子显微镜scanning eleetron mieroseope见扫描电子显微术。
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参考词条