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1)  chemically-amplified resist
抗化学腐蚀性,抗化学蚀刻能力,增强型化学保护层
2)  chemically amplified resist (CAR)
化学增强保护层,化学增强抗蚀剂
3)  resistance to chemical attack
抗化学腐蚀能力
4)  resistance to electrochemical corrosion
抗电化学腐蚀性
5)  Enhanced chemical etch
增强化学腐蚀
6)  chemical amplification
化学增幅抗蚀剂
补充资料:电化学腐蚀
电化学腐蚀
electrochemical corrosion

   金属材料与电解质溶液接触 , 通过电极反应产生的腐蚀。电化学腐蚀反应是一种氧化还原反应。在反应中,金属失去电子而被氧化,其反应过程称为阳极反应过程,反应产物是进入介质中的金属离子或覆盖在金属表面上的金属氧化物(或金属难溶盐);介质中的物质从金属表面获得电子而被还原,其反应过程称为阴极反应过程。在阴极反应过程中,获得电子而被还原的物质习惯上称为去极化剂。
   在均匀腐蚀时,金属表面上各处进行阳极反应和阴极反应的概率没有显著差别,进行两种反应的表面位置不断地随机变动。如果金属表面有某些区域主要进行阳极反应,其余表面区域主要进行阴极反应,则称前者为阳极区,后者为阴极区,阳极区和阴极区组成了腐蚀电池。直接造成金属材料破坏的是阳极反应,故常采用外接电源或用导线将被保护金属与另一块电极电位较低的金属相联接,以使腐蚀发生在电位较低的金属上。
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